無塵室的原理是利用HEPA、空氣凈化設備來過濾車間空氣中的塵埃粒子，控制空氣溫濕度、相鄰車間壓差，使車間中單位空氣中直徑分別在0.1um、0.2um、0.3um、0.5um、1um、0.1um的塵粒數量符合相應的潔凈標準，其具體的空氣凈化流程如下：

無塵室空氣凈化過程

氣流 → 初效空氣處置 → 空氣調理 → 中效空氣處置 → 風機加壓送風 → 凈化送風管道 → 高效送風口 → 潔凈室 → 帶走塵埃（細菌） → 回風夾道 → 新風、初效空氣處置。

當熱，無塵室內控制潔凈度不是簡單的事，而是一個綜合性的控制，體現在如下參數：

換氣次數、壓差、溫度、相對濕度、噪聲、新風補充量、照度等，不同級別的無塵室，相應參數會有不同，具體參數標準可參見：凈化車間等級評定。

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